在信息技術(shù)迅猛發(fā)展的時(shí)代，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代科技的基石，重要性不言而喻。但這一高精尖產(chǎn)業(yè)背后，也伴隨著復(fù)雜的環(huán)境挑戰(zhàn)，尤其是生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水問題。本文將介紹一家專注半導(dǎo)體廠廢水處理的環(huán)保公司——蘇州依斯倍環(huán)保裝備科技有限公司，看他家是怎么處理這類廢水的。

蘇州依斯倍環(huán)保裝備科技有限公司是一家來自荷蘭外商投資的環(huán)保企業(yè)，于2011年在蘇州工業(yè)園區(qū)正式成立，致力于為半導(dǎo)體廠廢水處理提供完整的循環(huán)利用及零排放解決方案，業(yè)務(wù)板塊涵蓋EPC系統(tǒng)交付、提標(biāo)改造、廢水站運(yùn)維托管等。依斯倍一直專注于工業(yè)廢水循環(huán)利用及零排放處理技術(shù)的研發(fā)，為客戶降低成本，努力構(gòu)建綠色生態(tài)循環(huán)系統(tǒng)，以“減量化”、“資源化”和“極小化”的“3R”原則為循環(huán)系統(tǒng)實(shí)施的核心。依斯倍工業(yè)廢水循環(huán)利用及零排放處理系統(tǒng)已廣泛應(yīng)用于新能源汽車、機(jī)器人制造、航天航空、表面處理電鍍、涂裝生產(chǎn)線、電子半導(dǎo)體等行業(yè)。

半導(dǎo)體廠廢水主要分為酸堿廢水、含氟廢水、含重金屬廢水、有機(jī)廢水及超純水制備系統(tǒng)的濃水等。其中，酸堿廢水來源于清洗和蝕刻工藝，pH 值極端，含有硝酸、氫氟酸、硫酸等強(qiáng)酸或氫氧化鈉等強(qiáng)堿；含氟廢水主要來自硅片蝕刻和清洗，氟離子濃度高，具有較強(qiáng)毒性；含重金屬廢水可能含有銅、鎳、鉛、鎘等，對生態(tài)環(huán)境和人體健康構(gòu)成潛在威脅；有機(jī)廢水富含光刻膠殘留物、表面活性劑等難降解有機(jī)物。此外，超純水系統(tǒng)在制備過程中會產(chǎn)生大量含鹽濃水，雖污染物濃度不高，但排放量大，需妥善處理。

面對復(fù)雜多樣的廢水，半導(dǎo)體廠必須采用分質(zhì)收集、分類處理的精細(xì)化管理模式。不同類型的廢水需通過獨(dú)立管道系統(tǒng)分流，避免交叉污染，確保后續(xù)處理的針對性和高效性。例如，含氟廢水需單獨(dú)收集，采用化學(xué)沉淀法投加石灰或氯化鈣生成氟化鈣沉淀，再經(jīng)絮凝、沉淀、過濾去除；含重金屬廢水通過調(diào)節(jié) pH 值，使金屬離子形成氫氧化物沉淀，再輔以重金屬捕集劑強(qiáng)化去除效果。

對于有機(jī)廢水，因其可生化性差，通常采用高級氧化技術(shù)如臭氧氧化、Fenton 氧化、光催化氧化進(jìn)行預(yù)處理，將大分子有機(jī)物分解為小分子物質(zhì)，提高可生化性，再結(jié)合生化處理如 MBR 膜生物反應(yīng)器進(jìn)一步降解。酸堿廢水通過中和反應(yīng)調(diào)節(jié) pH 至中性范圍，再進(jìn)入綜合處理系統(tǒng)。

在深度處理與回用方面，半導(dǎo)體廠普遍追求 “近零排放” 目標(biāo)。經(jīng)過預(yù)處理和生化處理后的廢水，需進(jìn)一步通過砂濾、活性炭吸附、超濾、反滲透等多級工藝深度凈化。其中，反滲透技術(shù)可有效去除溶解性鹽類、微量有機(jī)物和離子，產(chǎn)水水質(zhì)接近超純水標(biāo)準(zhǔn)，可回用于冷卻系統(tǒng)、清洗工藝或作為超純水系統(tǒng)的進(jìn)水，大幅減少新鮮水消耗和廢水外排量。

濃縮液處理是實(shí)現(xiàn) “零排放” 的最后一步。反滲透產(chǎn)生的濃水可通過蒸發(fā)結(jié)晶技術(shù)進(jìn)行蒸發(fā)濃縮，最終實(shí)現(xiàn)鹽分結(jié)晶回收，真正達(dá)到廢水 “零外排”。同時(shí)，半導(dǎo)體廠需配備完善的在線監(jiān)測系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)控 pH、電導(dǎo)率、COD、重金屬、氟化物等關(guān)鍵指標(biāo)，并結(jié)合自動化控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)加藥和工藝調(diào)控，確保處理系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行。

半導(dǎo)體廠廢水處理不僅是環(huán)保合規(guī)的剛性要求，更是企業(yè)履行社會責(zé)任、提升可持續(xù)競爭力的重要體現(xiàn)。隨著綠色制造理念的深入和技術(shù)的不斷進(jìn)步，半導(dǎo)體行業(yè)正朝著水資源高效循環(huán)利用和環(huán)境友好型生產(chǎn)模式加速轉(zhuǎn)型，為科技與生態(tài)的和諧共生提供有力支撐。

如果有半導(dǎo)體廠廢水處理需求，歡迎撥打蘇州依斯倍環(huán)保裝備科技有限公司的聯(lián)系電話：4008286100。