隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步，該行業(yè)對(duì)清潔生產(chǎn)及廢水處理的要求日益嚴(yán)格。半導(dǎo)體制造過(guò)程中產(chǎn)生的含鎳廢水若未經(jīng)處理直接排放，不僅會(huì)造成水體污染，還可能引發(fā)生態(tài)平衡破壞。因此，開(kāi)發(fā)有效的半導(dǎo)體含鎳廢水處理回用技術(shù)成為行業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。

含鎳廢水主要來(lái)源于電鍍、蝕刻和清洗等工序，其特點(diǎn)包括pH值范圍廣、鎳離子濃度變化大以及可能含有其他有害物質(zhì)如絡(luò)合劑和有機(jī)物等。這些特性要求廢水處理工藝具有較強(qiáng)的適應(yīng)性和去除效率。

半導(dǎo)體含鎳廢水處理工藝流程

1. 預(yù)處理階段：通過(guò)物理過(guò)濾和化學(xué)沉淀，去除大顆粒懸浮物和部分鎳離子。使用混凝劑和絮凝劑加速沉淀過(guò)程。

2. 深度處理階段：

  - 膜分離技術(shù)：采用反滲透（RO）或納濾（NF）膜，有效截留鎳離子及其他小分子污染物。

  - 離子交換樹(shù)脂：利用特定樹(shù)脂吸附鎳離子，實(shí)現(xiàn)高精度去除。

  - 電化學(xué)法：通過(guò)電解，使鎳離子在陽(yáng)極沉積，既可回收金屬鎳，又能凈化水質(zhì)。

3. 后處理階段：通過(guò)紫外消毒或臭氧氧化，確保出水無(wú)菌無(wú)害，滿(mǎn)足回用標(biāo)準(zhǔn)。

綜合運(yùn)用多種處理技術(shù)，才可以有效解決半導(dǎo)體含鎳廢水處理的難題，實(shí)現(xiàn)廢水資源化。未來(lái)的研究方向應(yīng)側(cè)重于進(jìn)一步提高處理效率、降低運(yùn)行成本及探索更廣泛的回用途徑。