半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的廢水處理成為制約行業(yè)綠色發(fā)展的一大難題，這類廢水含重金屬、有機(jī)溶劑、氟化物等有害物質(zhì)，對(duì)自然水體會(huì)造成嚴(yán)重污染。因此，進(jìn)行有效的廢水處理是至關(guān)重要的。本文依斯倍將介紹半導(dǎo)體行業(yè)廢水的特點(diǎn)以及半導(dǎo)體行業(yè)廢水處理的工藝。

半導(dǎo)體制造過(guò)程中產(chǎn)生的廢水成分復(fù)雜，主要包括：

- 含氟廢水：源自蝕刻、清洗過(guò)程，含有高濃度氟化物。

- 含重金屬?gòu)U水：來(lái)自鍍膜、蝕刻等步驟，含有銅、鎳、鉛等重金屬。

- 有機(jī)溶劑廢水：清洗劑、顯影劑等使用后產(chǎn)生的有機(jī)物污染。

- 氨氮廢水：光阻去除過(guò)程產(chǎn)生的氨氮類污染物。

半導(dǎo)體行業(yè)廢水處理關(guān)鍵技術(shù)

含氟廢水處理

- 化學(xué)沉淀法：加入石灰乳等沉淀劑，生成氟化鈣沉淀。

- 吸附法：使用活性碳、沸石等吸附材料去除氟離子。

 含重金屬?gòu)U水處理

- 電沉積法：利用電化學(xué)反應(yīng)，使重金屬在陰極析出。

- 離子交換：通過(guò)離子交換樹(shù)脂吸附重金屬離子后再生樹(shù)脂回收。

有機(jī)溶劑廢水處理

- 高級(jí)氧化工藝：如芬頓氧化、臭氧氧化，高效分解有機(jī)物。

- 生物降解：針對(duì)可生物降解有機(jī)物，采用活性污泥或生物膜技術(shù)。

氨氮廢水處理

- 硝化反硝化：通過(guò)微生物作用，將氨氮轉(zhuǎn)化為氮?dú)馀欧拧?

半導(dǎo)體行業(yè)廢水處理與循環(huán)利用是一個(gè)系統(tǒng)性工程，需要跨學(xué)科合作，不斷探索新技術(shù)、新策略，以期在保障環(huán)境質(zhì)量的同時(shí)，支撐半導(dǎo)體行業(yè)的持續(xù)健康發(fā)展。