隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，晶圓制造過(guò)程中產(chǎn)生的廢水處理與回用成為環(huán)保和資源節(jié)約的重要議題。特別是在晶圓切割這一關(guān)鍵工序中，為了確保產(chǎn)品質(zhì)量，通常會(huì)使用大量的高純度水作為冷卻液和清洗劑，這導(dǎo)致了大量廢水的產(chǎn)生。這些廢水不僅含有微粒、化學(xué)物質(zhì)等污染物，還因?yàn)槠涓呒兌榷哂谢厥绽玫膬r(jià)值。因此，開(kāi)發(fā)晶圓切割廢水處理及回用技術(shù)對(duì)于實(shí)現(xiàn)綠色制造至關(guān)重要。

晶圓切割廢水主要來(lái)源于切片過(guò)程中的冷卻水以及后續(xù)的清洗水。這類(lèi)廢水的特點(diǎn)包括：

- 高濃度的懸浮固體（SS），如硅粉和其他顆粒物。

- 含有各種化學(xué)品，例如研磨劑、潤(rùn)滑劑、防銹劑等。

- pH值可能偏酸性或堿性，取決于所使用的化學(xué)藥劑。

- 電導(dǎo)率較高，由于含有離子型化合物。

- 有機(jī)物含量較低，但可能存在微量的有機(jī)溶劑。

晶圓切割廢水處理流程

1、預(yù)處理

預(yù)處理階段旨在初步去除大顆粒物質(zhì)和部分懸浮物。常用的方法包括：

- **格柵**：攔截較大的雜物，防止它們進(jìn)入后續(xù)處理單元。

- **沉降**：通過(guò)重力作用使較大顆粒沉淀下來(lái)。

- **混凝/絮凝**：添加化學(xué)藥劑促進(jìn)細(xì)小顆粒聚集形成較大的絮體，便于后續(xù)分離。

2、物理化學(xué)處理

物理化學(xué)處理是去除特定污染物的關(guān)鍵步驟，主要包括以下幾個(gè)方面：

- **pH調(diào)節(jié)**：根據(jù)廢水中存在的酸堿物質(zhì)，加入適量的酸或堿來(lái)調(diào)整pH至中性。

- **氧化還原反應(yīng)**：用于破壞某些難降解的有機(jī)物或去除重金屬離子。常用的氧化劑有氯氣、臭氧、過(guò)氧化氫等；還原劑則可選用亞硫酸鈉等。

- **吸附**：活性炭或其他類(lèi)型的吸附材料可以有效地去除顏色、異味以及微量有機(jī)污染物。

- **膜分離**：超濾（UF）、納濾（NF）、反滲透（RO）等膜技術(shù)能夠高效地去除溶解性的鹽分和其他小分子雜質(zhì)，同時(shí)保留水分子，從而獲得高質(zhì)量的再生水。

3、后處理與消毒

經(jīng)過(guò)前面的處理后，水的質(zhì)量已經(jīng)大大改善，但在回用之前還需要進(jìn)行最后的凈化和消毒。這一步驟通常包括：

- **紫外線消毒**：利用紫外線照射殺死水中的細(xì)菌和病毒。

- **高級(jí)氧化**：進(jìn)一步去除殘留的有機(jī)物和微量污染物，確保水質(zhì)安全可靠。

- **過(guò)濾**：采用精細(xì)過(guò)濾器去除任何剩余的細(xì)微顆粒，保證出水清澈透明。

4、回用方案

處理后的廢水可以根據(jù)其品質(zhì)和用途的不同，采取多種方式回用：

- **直接回用**：如果處理后的水質(zhì)足夠好，可以直接用于非接觸式的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。

- **間接回用**：將處理后的水混合到新鮮自來(lái)水中，按照一定比例稀釋后再投入生產(chǎn)線上使用。

- **深度處理**：對(duì)于要求更高的應(yīng)用場(chǎng)景，比如作為去離子水的原料，可能還需要進(jìn)行額外的深度處理，如EDI（電去離子）等，以確保最終產(chǎn)品的純凈度。

晶圓切割廢水處理回用工藝是一個(gè)復(fù)雜且多學(xué)科交叉的過(guò)程，涉及到環(huán)境工程、化學(xué)工程、材料科學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域。通過(guò)合理的設(shè)計(jì)和優(yōu)化，不僅可以顯著減少水資源的浪費(fèi)，還能降低企業(yè)的運(yùn)營(yíng)成本，為可持續(xù)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。未來(lái)，隨著技術(shù)的進(jìn)步，預(yù)計(jì)會(huì)有更多創(chuàng)新的處理技術(shù)和設(shè)備應(yīng)用于這一領(lǐng)域，推動(dòng)整個(gè)行業(yè)的綠色發(fā)展。